台阶仪
KOSAKA ET200
设置装备摆设简介
日本入口Kosaka公司制造的台阶仪设置装备摆设,接纳直动式传感器,丈量精度高,无需线性赔偿,可准确丈量FPD基板、硅晶片、硬盘等外表微细外形、台阶和粗度等. 根本技能参数
Basic technical parameters
1,最大工件尺寸: 160mm.
2,最大工件厚度: 50mm.
3.传感器剖析能: 0.1nm.
4, X轴最大测长: 100mm.
5, X轴挪动真直度: 0.2μm/100mm 0.005um/5mm
6,测定力: 10uN~500uN
7,再现性: 1∂= 1nm(全量程), 1um以上台阶重现性可达0.2nm以下
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